[11p-W331-1~12] 3.15 シリコンフォトニクス

[11p-W331-1] [第9回女性研究者研究業績・人材育成賞（小舘香椎子賞）受賞記念講演] CMOSバックエンド互換プロセスを適用したシリコンフォトニクスの高度化の研究

〇前神 有里子¹ (1.産総研)

キーワード：CMOS、シリコンフォトニクス