[11p-W351-1~14] 6.1 強誘電体薄膜

△ [11p-W351-4] 水熱合成法で作製した(K,Na)NbO_３配向膜の圧電定数,e_31,f, の評価

〇(M2)舘山 明紀¹、伊東 良晴¹、中村 美子¹、清水 荘雄¹、折野 裕一郎¹、黒澤 実¹、内田 寛²、白石 貴久³、木口 賢紀³、今野 豊彦³、熊田 伸弘⁴、吉村 武⁵、舟窪 浩¹ (1.東工大、2.上智大、3.東北大、4.山梨大、5.大阪府立大)

キーワード：圧電体、水熱合成

(K,Na)NbO₃は環境適応性の高い非鉛圧電体の中で、比較的高い圧電性を有しており、多くの研究がなされている。種々の作製法の中で、水熱法は作製温度が300°C以下の低温で作製が可能なため、これまでの作製方法で指摘されていたKやNaの揮発による組成ズレの問題が少ない。また、水熱法で作製した薄膜において分極処理を必要としない自己分極膜が作製できることも報告されている。 本研究では、水熱合成法で作製した(K,Na)NbO₃膜において、正・逆の圧電応答より圧電定数e_31,fの評価を行ったので報告する。