[11p-W611-1~12] 3.13 半導体光デバイス

[11p-W611-10] フォトニック結晶構造を用いた半導体薄膜光検出器におけるテーパ構造の検討

〇齋藤 孝一¹、雨宮 智宏^1,2、鄭 叙¹、中村 なぎさ¹、西山 伸彦^1,2、荒井 滋久^1,2 (1.東工大、2.科学技術創成研究院)

キーワード：光検出器、フォトニック結晶

近年、大規模集積回路上のグローバル電気配線層において、発熱や遅延といった問題が生じており、その解決策として光配線が注目されている。そのような背景から、我々は、半導体薄膜光集積回路をLSI上にハイブリッド実装する技術を提案しており、光源をはじめとした一連の光デバイスの研究を行ってきた。特に光検出器については、高速化・高感度化を同時に実現することが求められており、フォトニック結晶を利用した薄膜光検出器の導入を検討してきた。
上記フォトニック結晶光検出器と薄膜導波路間には、モード不整合の面から結合損失が生じやすい。今回、適当なテーパ構造を導入することで結合効率を大幅に改善できることを理論的に示したので、ご報告する。