[11p-W833-1~12] 9.2 ナノ粒子・ナノワイヤ・ナノシート

[11p-W833-10] リモートO₂プラズマ支援MOCVDによるHf酸化物ナノドットの高密度・一括形成

〇長谷川 遼介¹、牧原 克典¹、大田 晃生¹、池田 弥央¹、宮崎 誠一¹ (1.名大院工)

キーワード：ナノドット、Hf酸化物、自己組織化形成