2019年第66回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[11p-W834-1~18] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

2019年3月11日(月) 13:15 〜 18:30 W834 (W834)

末益 崇(筑波大)、立岡 浩一(静大)、山口 憲司(量研機構)、原 康祐(山梨大)

13:45 〜 14:00

[11p-W834-3] Mg2Si(111)//Si(111)高配向膜における光変調反射率スペクトルの評価

星田 裕文1、S. Alexander2、I. Chernev2、N.G. Galkin2、寺井 慶和1 (1.九工大情報工、2.FEBRAS)

キーワード:光変調反射率、マグネシウムシリサイド