[11p-W834-1~18] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[11p-W834-4] 非破壊電気コンタクトプローブの内部光電効果測定への適用

〇吉武 道子¹、シュリダール ディーパック¹、柳生 進二郎¹ (1.物材機構)

キーワード：内部光電効果、ショットキーバリア高さ、プローブ

内部光電効果は、太陽電池の発現原理やフォトダイオードの動作原理で、界面における電子移動のバリア高さを測定する手法として非常に多くの分野に有用である。照射光を測定したい界面まで到達させるために、光照射面の金属膜の厚さは出来るだけ薄いほうが好ましい。我々は、そのような薄い膜を破壊せずに電気接触し、電圧印加や電流測定が可能なプローブを開発してきた。今回、このプローブを用いて、内部光電効果測定を試みた。