[11p-W933-1~11] 結晶工学×放射光シンポジウム

[11p-W933-5] 透過X線回折によるシリコン上のビスマス薄膜成長と界面構造のリアルタイム観察

〇田尻 寛男¹ (1.高輝度セ)

キーワード：X線回折、表面、界面

基板結晶上の結晶成長の様子や表面・界面構造を非破壊で評価する方法として、透過X線回折による方法を紹介する。