[11p-W933-1~11] 結晶工学×放射光シンポジウム

[11p-W933-9] 車載GaNパワーデバイスに向けた硬X線光電子分光法によるエネルギーバンドダイアグラム測定

〇片岡 恵太¹、成田 哲生¹、菊田 大悟¹、伊藤 健治¹、田島 伸¹、梅原 密太郎¹、高橋 直子¹、磯村 典武¹ (1.豊田中研)

キーワード：GaNパワーデバイス、硬X線光電子分光法、バンドダイアグラム