[11p-W934-1~8] 先端イオン顕微鏡技術のナノスケール材料・デバイスへの展開

▲ [11p-W934-2] NanoFabrication of Thin Films with Light Ions Beams

〇John Notte¹、Brett Lewis¹、Deying Xia¹ (1.Carl Zeiss SMT, Inc)

キーワード：ion beams, nano fabrication