[12a-M111-1~9] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[12a-M111-1] ヴォロンコフモデルへのコメント（５）点欠陥のフラックス

〇末澤 正志¹、米永 一郎² (1.無所属、2.東北大学)

キーワード：ヴォロンコフモデル、対消滅、フラックス

ヴォロンコフは、熱平衡点欠陥がシリコン融液から結晶中に導入され、それらが温度低下と共に過飽和になり対消滅すると説明した。その際、導入量を点欠陥のフラックスで記述した。ところで、フラックス＝粒子数X移動速度である。移動速度は空孔と格子間原子では異なっている。したがって、空孔と格子間原子のフラックスが同じでも、対消滅反応後でも点欠陥が残留することになる。