[12a-M111-1~9] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[12a-M111-5] CZ炉内のCO濃度（III）

〇宮村 佳児¹、原田 博文¹、中野 智¹、西澤 伸一¹、柿本 浩一¹ (1.九大　応力研)

キーワード：シリコン、CZ、炭素

ＣＺ炉内のＣＯガス濃度をガスクロマトグラフにより測定した。炉内の脱ガスによって発生するCOと、石英ルツボと黒鉛ルツボの反応に起因するCO、及び、Si融液に石英ルツボが溶解して発生するSiOガスと黒鉛部材の反応で発生するCO のそれぞれの寄与を分離して把握した。