[12a-M111-1~9] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

△ [12a-M111-7] ハイパフォーマンス多結晶Siインゴットにおける析出物分布の3次元可視化

〇(M1C)上別府 颯一郎¹、Krenckel Patricia²、Troetschler Theresa²、Hess Adam²、Riepe Stephan²、宇佐美 徳隆¹ (1.名大院工、2.Fraunhofer ISE)

キーワード：結晶成長、データサイエンス、IR

本研究では、赤外光を用いてハイパフォーマンス多結晶Siインゴット内部の析出物分布を測定し、データ科学的手法を用いて分析した。多結晶Siインゴットに含まれる針状の析出物は結晶成長とともに長くなることが確認され、析出物を３次元でプロットするとその多くは面状に分布していることが分かった。この面は結晶成長の界面に沿っていると考えられ、本研究ではこの面を近似的に抜き出し、3次元で可視化することに成功した。