[12a-M113-1~8] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[12a-M113-1] Raman分光法を用いたイオン注入Ge基板表面の結晶損傷評価

〇祖父江 秀隆¹、福田 雅大¹、柴山 茂久¹、中塚 理^1,2、財満 鎭明³ (1.名大院工、2.名古屋大学 未来研、3.名古屋大学 未来社会創造機構)

キーワード：Ge、イオン注入