[12a-PA1-1~12] 1.5 計測技術・計測標準

△ [12a-PA1-7] 薄膜厚さ計測に向けた光ファイバプローブの最適設計

〇(B)下林 紀幸¹、渡邉 潤¹、水谷 浩也¹、齋藤 隆之¹ (1.静岡大工)

キーワード：薄膜、計測、光ファイバプローブ

液中にある単一光ファイバプローブ（Single Tip Optical Fiber Probe: S-TOP）において，先端から放射された光が気液界面で反射され再入射することで，S-TOPが液界面に接する前に光信号は変化する．この特性を用いた新しい薄液膜計測の手法を提案する．また，独自開発した数値解析システムと計測結果を比較検討し，S-TOPの最適形状を模索する．