[12a-PA3-1~26] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[12a-PA3-14] β-Ga₂O₃ 粉末の振動メカニカルミリング処理

〇岸村 浩明¹、出口 龍¹、松本 仁¹ (1.防衛大学校材料)

キーワード：酸化ガリウム、メカニカルミリング

振動メカニカルミリング処理をβ-Ga₂O₃粉末に施し、得られた粉末をX線回折法とラマン散乱法により評価した。ミリング時間の経過とともに、α-Ga₂O₃の量が多くなり、調べたミリング時間の範囲ではほとんどα-Ga₂O₃となった。