[12a-PA3-1~26] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[12a-PA3-19] ZnO 系膜における電気特性の添加 Ga 量依存性

〇山田 祐美加¹、杉浦 怜²、松原 國喜²、伴 勇翔²、舩木 修平¹、山田 容士¹ (1.島根大自然、2.島根大総理工)

キーワード：透明導電膜、酸化亜鉛、スパッタリング