[12a-PA3-1~26] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[12a-PA3-21] PLD 法により成膜したITO薄膜の熱処理による電気特性の評価

〇岩名 祥吾¹、関 蘇軍¹、小室 修二²、趙 新為¹ (1.東理大理、2.東洋大理)

キーワード：発光ダイオード