2019年第66回応用物理学会春季学術講演会

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[12a-PB3-1~16] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

2019年3月12日(火) 09:30 〜 11:30 PB3 (武道場)

09:30 〜 11:30

[12a-PB3-11] 電気めっき法によるAu-Cu合金微小カンチレバーの作製

新田 京太朗1、Tang Haochun1、Chen Chun-Yi1、Chang Tso-Fu Mark1、山根 大輔1、小西 敏文1,2、町田 克之1、伊藤 浩之1、益 一哉1、曽根 正人1 (1.東工大、2.NTT-AT)

キーワード:MEMS、金、合金