[12a-PB3-1~16] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

△ [12a-PB3-11] 電気めっき法によるAu-Cu合金微小カンチレバーの作製

〇新田 京太朗¹、Tang Haochun¹、Chen Chun-Yi¹、Chang Tso-Fu Mark¹、山根 大輔¹、小西 敏文^1,2、町田 克之¹、伊藤 浩之¹、益 一哉¹、曽根 正人¹ (1.東工大、2.NTT-AT)

キーワード：MEMS、金、合金