[12a-PB3-1~16] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

△ [12a-PB3-14] 高pH分解能を実現する累積機能を持つ拡張ゲート型pHイメージセンサ

〇有見 芳敬¹、木村 安行¹、若森 俊樹³、山本 洋夫³、岩田 達哉^1,2、高橋 一浩^1,2、水野 誠一郎³、澤田 和明^1,2 (1.豊橋技術科学大、2.エレクトロニクス先端融合研究所、3.浜松ホトニクス株式会社)

キーワード：pHイメージセンサ、高pH分解能、累積機能

高pH分解能のイメージングを可能とする新たなpHイメージセンサを提案する。提案されたセンサは、累積機能を従来の2トランジスタ(2-Tr)画素構造に付与する。累積機能は、画素信号を容量に繰り返し転送することで、信号対雑音比からpH分解能を改善する。このセンサの雑音特性を評価するため, 本画素構成のイメージセンサを作製した。入力換算ノイズは従来の2-Tr画素構造センサから82％減少したため、0.02を超えるpH分解能を実現可能とした。