09:30 〜 11:30
▲ [12a-PB3-16] Fabrication of crystalline silicon solar cells by rapid heating with carbon heating tube
キーワード:solar cell, rapid-thermal-heating, microwave
一般セッション(ポスター講演)
13 半導体 » 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術
2019年3月12日(火) 09:30 〜 11:30 PB3 (武道場)
09:30 〜 11:30
キーワード:solar cell, rapid-thermal-heating, microwave