[12a-W541-1~12] 15.4 III-V族窒化物結晶

[12a-W541-1] HVPE法による加工サファイア基板上のAlN成長

〇藤倉 序章¹、今野 泰一郎¹、木村 健司¹、三宅 秀人² (1.サイオクス、2.三重大地域イノベ)

キーワード：HVPE、AlN、PSS

HVPE法による加工サファイア基板（PSS）上のAlN成長により、微細なロッド、プレート構造を形成した。また、成長条件によっては、PSS上にLEDに適した平坦な表面を有するAlN薄膜を実現できることを示した。