2019年第66回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.4 III-V族窒化物結晶

[12a-W541-1~12] 15.4 III-V族窒化物結晶

2019年3月12日(火) 09:00 〜 12:15 W541 (W541)

岡田 成仁(山口大)、藤倉 序章(サイオクス)

11:45 〜 12:00

[12a-W541-11] Naフラックス法における4端子法抵抗測定を用いた窒素溶解量のモニタリング

タンドリーヨ リクセン1、Murakami Kosuke1、Yamada Takumi1、Kitamura Tomoko1、Masayuki Imanishi1、Yoshimura Masashi1、Mori Yusuke1 (1.Osaka Univ.)

キーワード:モニタリング、窒素溶解量、Naフラックス