2019年第66回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.4 III-V族窒化物結晶

[12a-W541-1~12] 15.4 III-V族窒化物結晶

2019年3月12日(火) 09:00 〜 12:15 W541 (W541)

岡田 成仁(山口大)、藤倉 序章(サイオクス)

09:30 〜 09:45

[12a-W541-3] ハイドライド気相成長法による積層欠陥の少ない高品質半極性{20-21}面GaNテンプレート上GaNの成長

新宮 章吾1、藤本 怜2、岡田 成仁2、ジェ ソン3、ジュン ハン3、只友 一行2 (1.山口大学工学部、2.山口大院・創成科学、3.エール大学)

キーワード:HVPE、半極性、GaN