2019年第66回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

6 薄膜・表面 » 6.5 表面物理・真空

[12a-W834-1~6] 6.5 表面物理・真空

2019年3月12日(火) 09:00 〜 10:30 W834 (W834)

光原 圭(立命館大)

10:15 〜 10:30

[12a-W834-6] ガラスナノピぺットの評価法の検討

高見 知秀1、太田 望月1、小野 茉奈美1、関口 敦1、後藤 忠彦2、真柄 英之2、高桑 雄二2 (1.工学院大学、2.東北大多元研)

キーワード:ナノピペット、真空コンダクタンス、ガラス

先端内径が数百ナノメートル以下のパイレックス製ナノピペットは、単一細胞への化学物質の注入に用いられており、市販されている。しかし実際にナノピペットを使用すると、1回の注入の後にピペットが詰まることが頻繁に起こり、これがインジェクションの確度を下げる要因のひとつとなっている。我々は、ナノピペットの真空コンダクタンスを計測することによって、非破壊的にピペットの内径や清浄度を検査する手法を開発している。そこで本発表では、ナノピペットの真空コンダクタンス計測と、そのピペットを電子顕微鏡で観察した結果について報告する。