[12p-M111-1~13] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[12p-M111-1] Si結晶中のドーパント複合体と重金属の相互作用に関する第一原理解析

〇永倉 大樹^1,2、末岡 浩治² (1.ソニーセミコンダクタマニュファクチャリング、2.岡山県立大学)

キーワード：半導体、金属