[12p-M111-1~13] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[12p-M111-7] 高平行度X線散漫散乱法による酸素析出物解析(2)

〇堀川 智之¹、藤森 洋行¹、津坂 佳幸²、松井 純爾³ (1.グローバルウェーハズ・ジャパン(株)、2.兵県大院物質理学、3.兵県大・放射光ナノテクセンター)

キーワード：Siウェーハ、X線散漫散乱、酸素析出物