[12p-M116-1~12] 3.14 Optical control devices and optical fibers

[12p-M116-9] Fabrication of InP ring resonator using microloading effect

〇Satoshi Nishiyama¹, Hiroki Komagome¹, Yuya Ara¹, Hiromasa Shimizu¹, Satoshi Shimizu² (1.Tokyo Univ. of Agri. & Tech., 2.GenISys)

Keywords:Optical waveguide

InP基板は電子線描画の際の後方散乱の影響を大きく受ける。そこで本研究ではEB描画ソフトウェアを用いて近接効果補正を施すことで、描画密度の異なる領域を含むパターニングを行った。また、InPエッチングでのマイクロローディング効果を利用して、一度で深さの異なるエッチングを行った。