The 66th JSAP Spring Meeting, 2019

Presentation information

Oral presentation

3 Optics and Photonics » 3.14 Optical control devices and optical fibers

[12p-M116-1~12] 3.14 Optical control devices and optical fibers

Tue. Mar 12, 2019 1:15 PM - 4:45 PM M116 (H116)

Tomonori Matsushita(The University of Tokyo), Takashi Goh(NTT)

3:30 PM - 3:45 PM

[12p-M116-9] Fabrication of InP ring resonator using microloading effect

Satoshi Nishiyama1, Hiroki Komagome1, Yuya Ara1, Hiromasa Shimizu1, Satoshi Shimizu2 (1.Tokyo Univ. of Agri. & Tech., 2.GenISys)

Keywords:Optical waveguide

InP基板は電子線描画の際の後方散乱の影響を大きく受ける。そこで本研究ではEB描画ソフトウェアを用いて近接効果補正を施すことで、描画密度の異なる領域を含むパターニングを行った。また、InPエッチングでのマイクロローディング効果を利用して、一度で深さの異なるエッチングを行った。