[12p-M116-1~12] 3.14 光制御デバイス・光ファイバー

[12p-M116-9] マイクロローディング効果を用いたInP系リング共振器の作製

〇西山 知志¹、駒込 泰輝¹、荒 雄也¹、清水 大雅¹、清水 諭² (1.農工大工、2.GenISys)

キーワード：光導波路

InP基板は電子線描画の際の後方散乱の影響を大きく受ける。そこで本研究ではEB描画ソフトウェアを用いて近接効果補正を施すことで、描画密度の異なる領域を含むパターニングを行った。また、InPエッチングでのマイクロローディング効果を利用して、一度で深さの異なるエッチングを行った。