[12p-W541-1~12] 15.4 III-V族窒化物結晶

[12p-W541-1] [第9回化合物半導体エレクトロニクス業績賞（赤﨑勇賞）受賞記念講演] Al系窒化物結晶ヘテロ成長技術とそれを用いた深紫外線LEDの開発

〇平山 秀樹¹ (1.理研)

キーワード：Al系窒化物結晶、ヘテロ成長技術、深紫外線LED