[12p-W541-1~12] 15.4 III-V族窒化物結晶

△ [12p-W541-12] 様々なAlNテンプレート上に形成した緩和AlGaN層に作製したUV-Bレーザー

〇(B)手良村 昌平¹、川瀬 雄太¹、池田 隼也¹、櫻木 勇介¹、安江 信次¹、田中 隼也¹、荻野 雄矢¹、岩谷 素顕¹、竹内 哲也¹、上山 智¹、岩山 章^1,3、赤﨑 勇^1,2、三宅 秀人³ (1.名城大学理工、2.名古屋大赤﨑記念研究センター、3.三重大地域イノベ)

キーワード：窒化物半導体、AlGaN、レーザ

本研究では、様々なAlNテンプレート上に緩和させたn-AlGaNの製膜を行い、光学特性を評価を行った。AlNテンプレート違いによる光学特性の大きな差がないという点と、n-AlGaNの膜厚を圧膜化させることで光学特性が改善することを見出した。