[12p-W611-1~11] 3.13 半導体光デバイス

[12p-W611-4] 【注目講演】3DセンシングのためのVCSEL増幅器によるドットパターン生成

〇森長 瑞¹、顧 暁冬¹、志村 京亮¹、松谷 晃宏²、小山 二三夫¹ (1.東工大未来研、2.東工大技術部)

キーワード：面発光レーザ、3次元センサ

3次元の光センシングは，自動運転のLiDAR，携帯端末の顔認証システムなど，広範な応用が期待されている．我々は，DBRスローライト導波路構造のVCSEL増幅器を用いた非機械式ビーム掃引デバイスを提案し，3Dセンサ用光源の開発を進めてきた．本研究では，そのVCSEL増幅器を一定の間隔で折り返した構造のデバイスと，シリンドリカルレンズアレイを組み合わせることで，高精細なドットパターン形成に成功したので報告する．