[12p-W611-1~11] 3.13 半導体光デバイス

[12p-W611-5] カットオフ波長離調構造によるビームスキャナ集積単一モード面発光レーザ

〇志村 京亮¹、許 在旭¹、顧 暁冬¹、中濵 正統¹、坂口 孝浩¹、松谷 晃宏²、小山 二三夫¹ (1.東工大未来研、2.東工大技術部マイクロプロセス部門)

キーワード：面発光レーザ、LiDAR

本研究では一方向性結合を可能にする面発光レーザ集積ビームスキャナを提案する．これまで光源と導波路型ビームスキャナを集積化したデバイスを提案し，13度の角度掃引幅と30点以上の解像点数を実現した．一方で出力が非常に低く，解像点数も向上が必要であるなどの課題が残った．我々は光源とビームスキャナの結合効率を改善するための新たな構造を提案している．今回はデバイスの試作を行い基本特性の測定を行ったので報告する．