[12p-W611-1~11] 3.13 半導体光デバイス

[12p-W611-7] MEMS VCSEL集積DBR導波路偏向素子のビーム偏向特性

〇旭 利紘¹、顧 暁冬¹、坂口 孝弘¹、小山 二三夫¹ (1.東工大未来研)

キーワード：面発光レーザ、ビーム偏向器

近年，ロボットや自動車，さらには完全自動化製造への関心が高まっている．これらのための自動運転には高度な3Dセンシング技術が要求される．LiDARはその一つであり波長の短い光を用いるため対象の形状や距離を精密に測ることができる．本報告ではLiDARシステムに不可欠な高性能ビームスキャナの実現に向け分布ブラッグ反射鏡導波路に波長可変VCSELを集積したデバイスの偏向動作について検討したのでご報告する．