[9a-M112-1~12] 6.6 プローブ顕微鏡

[9a-M112-1] nc-AFMで取得したエネルギー散逸像によるSi/Geの識別

〇藏 大輝¹、辻 繁樹¹、富取 正彦²、新井 豊子¹ (1.金沢大、2.北陸先端大院)

キーワード：nc-AFM、元素種識別