[9a-M116-1~8] 3.1 光学基礎・光学新領域

[9a-M116-5] ラゲールガウシアンビームを用いたレーザートラップ支援電気泳動堆積によるチューブ形状微細立体構造物の作製

〇大澤 俊哉¹、中澤 謙太¹、岩田 太^1,2 (1.静岡大院工、2.静大電研)

キーワード：レーザートラップ、電気泳動堆積法、ラゲールガウシアンビーム

本研究では中心の光強度がゼロとなるラゲールガウシアンビーム(Laguerre-Gaussian Beam: LG beam)を用いて回折限界より小さな穴を有するチューブ形状の微細立体構造の作製手法の開発に取り組んだ。LG beamをAu ナノ微粒子を含むコロイド溶液中に集光することでナノ微粒子をリング状に捕捉する。この状態で電界を印加し局所的な電気泳動堆積を行った。さらに集光点を基板垂直方向に移動させることでチューブ形状の微細立体構造物の作製を実現した。