[9a-M121-1~11] 13.7 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

[9a-M121-2] Hf/(Si+Hf)組成の異なるHfSiO_x/GaN(0001)の光電子分光分析

〇大田 晃生¹、牧原 克典¹、生田目 俊秀²、塩﨑 宏司¹、宮﨑 誠一¹ (1.名大、2.物材機構)

キーワード：光電子分光、ハフニウムシリケート