[9a-PA1-1~13] 9.4 熱電変換

[9a-PA1-5] めっき法と転写法を組み合わせた傾斜型薄膜熱電ジェネレータの作製と性能評価

山室 大樹¹、〇山口 将輝¹、高尻 雅之¹ (1.東海大院工)

キーワード：熱電ジェネレータ、薄膜

次世代スマートネットワーク監視システム用のセンサ電源に応用するために，傾斜型フレキシブル薄膜熱電モジュールの設計と製作を提案した．本研究では電解めっき法と転写法を用いて薄膜熱電デバイスを作製し，PDMSにより傾斜を与え，それぞれの角度で発電性能を測定した．本研究では低コストで製造することができる傾斜型フレキシブル薄膜熱電モジュールの実現の可能性を示している．