[9a-PA2-1~40] 12.3 機能材料・萌芽的デバイス

[9a-PA2-22] 圧力マッピングへの応用を指向した金属細線包埋型PVDF薄膜センサの作製

〇但木 大介¹、山宮 慎¹、馬 騰²、今井 裕司³、平野 愛弓^1,2、庭野 道夫⁴ (1.東北大通研、2.東北大WPI-AIMR、3.仙台高専、4.東北福祉大)

キーワード：圧力センサ、ポリフッ化ビニリデン (PVDF)、圧力マッピング

我々は，有機強誘電体であるポリフッ化ビニリデン（PVDF）を用いた各種センサを開発している。本研究では，圧力マッピングへの応用を指向した基本デバイスとして，下地にチオール修飾Au電極を用いた上で，その対向（上部）電極として複数の独立したAg細線を用い，これらを全てPVDF薄膜中に包埋させた新奇な構造のPVDF薄膜センサの作製を試みたので，本発表にて報告する。