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[9a-PA2-32] レーザー走査と金属蒸着選択性で作成したジアリールエテン-Cu複合膜を有する微細有機メモリ特性の素子面積依存性
キーワード:有機メモリ、金属蒸着選択性、ジアリールエテン
我々は、金属蒸着選択性を利用することにより、レーザー走査とマスクレス蒸着による微細有機メモリが実現できる事を報告してきた。今回、微細有機メモリ特性の素子面積依存性を調べたので報告する。ON-OFF比にメモリセル面積依存性が見られ、セル面積10×10μm2で最大105のON-OFF比が得られた。また、OFF →ONとなるスイッチング時間は、セル面積が小さいほど高速スイッチング可能で、110×35 μm2セルで300 nsの高速応答が得られた。