[9a-PA2-1~40] 12.3 機能材料・萌芽的デバイス

[9a-PA2-37] フォトポリマーの重合時交差拡散を利用したマイクロ流路作製技術(3)

〇木本 匠¹、福田 隆史²、江本 顕雄¹ (1.同志社大理工、2.産総研電子光)

キーワード：マイクロ流路デバイス、フォトポリマー

我々はフォトポリマーの重合時交差拡散による物質移動を利用したマイクロ流路の作製方法を提案している。本研究では、物質移動による流路形成メカニズムについて調査することを目的としている。流路形成過程を調査した結果、露光初期の急速な交差拡散により、流路の概要が決まることが明らかとなった。