[9a-PA3-1~10] 22.1 合同セッションM 「フォノンエンジニアリング」

[9a-PA3-1] 非晶質酸窒化亜鉛(a-ZnON)薄膜の熱電特性

〇廣瀬 靖^1,2、土井 雅人¹、重松 圭^2,3、掛札 洋平⁴、森 孝雄⁴、長谷川 哲也^1,2 (1.東大院理、2.KAST、3.東工大フロンティア、4.物材機構)

キーワード：非晶質、酸窒化物、フレキシブル熱電変換

n型フレキシブル熱電材料の候補として、非晶質酸窒化亜鉛（a-ZnON）薄膜の室温における熱電変換特性を評価した。無アルカリガラス基板上に反応性パルスレーザー堆積法で作製したa-ZnON薄膜は最大でPF=204 μW∙m⁻¹∙K⁻²を示し、a-IGZOの約2倍であった。一方で熱伝導率（1.4±0.2 W∙m∙K⁻¹）はa-IGZOと同程度で、非晶質酸化物半導体の既報の2倍以上となるZT = 0.042が得られた。