[9a-PB3-1~18] 15.6 IV族系化合物（SiC）

[9a-PB3-5] 同位体酸素を用いたSiC表面に形成される単一光子源の構造推定

〇土方 泰斗¹、松下 雄一郎²、大島 武³ (1.埼玉大院理工研、2.東工大、3.量研)

キーワード：炭化ケイ素、単一光子源、酸化

本報告では、SiC表面に酸化により形成される単一光子源の形成に酸化処理が必要かどうか、ならびに欠陥構造に酸素原子が含まれているかを判定するため、Ar雰囲気、自然酸素(¹⁶O) 雰囲気、および同位体酸素(¹⁸O)雰囲気でのアニール処理を行い、それぞれの試料における単一光子発光スペクトルの比較を行った。