[9a-S223-1~9] 7.2 電子ビーム応用

[9a-S223-1] Fe₂O₃とシリコンを使ってのシリサイド生成過程のその場観察

〇石川 信博¹、三井 正¹、竹口 雅樹¹、三石 和貴¹ (1.物材機構)

キーワード：シリサイド、ヘマタイト、変態

これまでへマタイト(Fe₂O₃)がシリカ(SiO₂)を初め数種のシリコン基セラミックスが接触して分解し、鉄を析出させることを、電子顕微鏡(TEM)内その場観察法を利用して見いだしてきたが、シリコンと反応させて析出させた鉄は電子線のアシストを一定時間受けることで0.03秒以内のごく短時間でシリサイドに変化することを見いだした。これは鉄鉱石からも直接シリサイドを作れる可能性を示し炊結果である。