[9a-S223-1~9] 7.2 電子ビーム応用

△ [9a-S223-7] 小型イオンエンジン用平面型グラフェン電子源の電子電流特性評価

〇(M1)古家 遼^1,2、村上 勝久²、長尾 昌善²、鷹尾 祥典¹ (1.横国大、2.産総研)

キーワード：グラフェン、電子放出デバイス、イオンエンジン

Si基板上へSiO₂とグラフェンを積層した構造の平面型グラフェン電子源は，約10 Vで駆動し1–100 mA/cm²もの高い電流密度で電子放出が可能である．しかし，小型イオンエンジンの中和器への応用に向け数 mAの放出電子電流を達成するためには，グラフェン層のシート抵抗低減と放出面積の拡大が必要である．本研究では，グラフェン層の厚膜化によるシート抵抗低減を行い，放出電子電流に与える影響を評価した．