[9a-W242-1~12] 12.6 ナノバイオテクノロジー

△ [9a-W242-1] Al₂O₃成膜によるマイクロポア壁面の表面電荷の調整

〇林田 朋樹¹、筒井 真楠¹、谷口 正輝¹ (1.阪大産研)

キーワード：マイクロポア、原子層堆積法、表面ゼータ電位

固体マイクロポアデバイスの表面にAl₂O₃膜を成膜したデバイスを作製した。デバイス表面に、原子層堆積法(ALD)を用いてAl₂O₃膜を1 nm~6 nmの範囲で成膜した。Al₂O₃の膜厚に応じた粒子のポア通過時のイオン電流応答が示唆されたため、Si₃N₄/Al₂O₃表面のゼータ電位を測定し、ポア壁面の表面電荷状態を検証した。