[9a-W323-1~12] 6.4 薄膜新材料

[9a-W323-10] Cr基ひずみセンサ薄膜における横感度とネール温度の関係

〇丹羽 英二¹ (1.電磁研)

キーワード：横感度、ネール温度、ひずみセンサ

高感度ひずみセンサに有望なCr基薄膜の横感度はネール温度以上では小さな値と推測される。その場合その高温域では、片持ち梁型起歪構造体において、正ひずみ印加方向と垂直に配置した薄膜素子のゲージ率はほぼポアソン比の形状効果のみによる負の小さな値をとることとなり、ネール温度近傍で垂直配置素子のゲージ率がゼロになると予測される。その検証の結果、Cr-Fe薄膜等の垂直配置素子で室温でのゲージ率ゼロを確認した。