[9a-W323-1~12] 6.4 Thin films and New materials

[9a-W323-11] Spinodal decomposition near the interface in Ti_0.4V_0.6O₂/TiO₂(100) films

〇Yuji Muraoka¹, Fumiya Yoshii², Takahiro Fukuda³, Yuji Manabe², Mikiko Yasuno², Yoshito Takemoto², Kensei Terashima¹, Takanori Wakita¹, Takayoshi Yokoya¹ (1.Okayama Univ. RIIS, 2.Okayama Univ. GS, 3.Okayama Univ.)

Keywords:Spinodal decomposition, TiO2-VO2 film, Interface

スピノーダル分解が生じているTi_0.4V_0.6O₂/TiO₂(100)膜の界面近傍を走査型透過電子顕微鏡（STEM）を用いて調べた。その結果、界面付近には約20 nmの固溶体層が存在し、その上にスピノーダル分解層があることがわかった。固溶体層の金属組成はTi_0.7V_0.3と仕込み組成よりもTi量が多く、スピノーダル分解で析出したTi-rich相 Ti_0.6-0.65V_0.35-0.4に近かった。Ti拡散量はTi-rich相の組成に関係していることが推測される。