[9a-W323-1~12] 6.4 薄膜新材料

[9a-W323-11] Ti_0.4V_0.6O₂/TiO₂(100)膜界面近傍のスピノーダル分解

〇村岡 祐治¹、吉井 文哉²、福田 貴優³、真部 侑司²、安野 実希子²、竹元 嘉利²、寺嶋 健成¹、脇田 高徳¹、横谷 尚睦¹ (1.岡山大基礎研、2.岡山大院自然科学、3.岡山大理)

キーワード：スピノーダル分解、TiO2-VO2膜、界面

スピノーダル分解が生じているTi_0.4V_0.6O₂/TiO₂(100)膜の界面近傍を走査型透過電子顕微鏡（STEM）を用いて調べた。その結果、界面付近には約20 nmの固溶体層が存在し、その上にスピノーダル分解層があることがわかった。固溶体層の金属組成はTi_0.7V_0.3と仕込み組成よりもTi量が多く、スピノーダル分解で析出したTi-rich相 Ti_0.6-0.65V_0.35-0.4に近かった。Ti拡散量はTi-rich相の組成に関係していることが推測される。