[9a-W323-1~12] 6.4 Thin films and New materials

[9a-W323-9] NTC thermistor properties of wurtzite (Al, M)N (M= transition metal elements)

〇TOSHIAKI FUJITA¹, Hiroshi Tanaka¹, Noriaki Nagatomo¹ (1.Mitsubishi Materials Corp.)

Keywords:NTC thermistor, wurtzite nitride, thin film temperature sensor

温度センサにおける薄型化、フレキシブル化のニーズに対応すべく、低温スパッタリングにより強靭な結晶膜を得ることが可能なAlN系薄膜の研究を進め、ウルツ鉱型結晶構造をもつ(Al,M)N(M=種々の遷移金属元素)において、NTCサーミスタ特性を見出した。